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大功率磁控溅射镀膜电源

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大功率磁控溅射镀膜电源

Low-E镜膜玻璃生产线及大型PVD镜膜设备专用

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技术特点:

※ 主回路拓扑采用PFC+全球最新一代Sic和IGBT组合全桥构架,结合DSP+FPGA数字控制技术,大大降低故障风险,相比老一代 Si-MOSET,新一代Sic-MOSET电源可靠性要提高12倍,导热性能高4倍

※ 恒功率/恒流/恒压模式切换恒功率模式更能保证镀膜工艺的重复性

※ 内置Arc 10μs-100μs时间设置适应不同工艺及靶材Arc显示计数及电源工作状态查询
※ Arc抑制管理
<300ns内检测异常电压(OUT>基准20%)
当有I-Arc发生可在10ms内切断并重启电源
当有V-Arc发生,电压控制调整在<5μs内启动
残余Arc能量<1mJ/kW,能消除卡点问题,从而提高产品良品率和效率

※ 超宽的负载匹配能力,系列电源输出电压100V-10000V 电流500mA-300A
※ 一流的可靠设计,主功率模块采用纯铜板大水路冷却系统+辅助风冷架构设计多重温控传感器监测及保护同进口产品相比温度低4到6度
※ 主动操作面板,通讯接口配置模拟量、Modbus RS485
ProfiBus
※ 全球独家配置英国GENCOA Speedflo控制器专用端口

 湘公网安备 43012402000517号 

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