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真空镀膜阳极层离子源清洗电源

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ZY-ION 阳极层离子源清洗电源


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技术特点:

※ 应用于大面积基片镀膜前离子清洗和刻蚀

※ DLC成膜
※ 塑料基底改性等


技术参数:

项目参数
输入电压380Vac+N+PE
输入频率50-60HZ
功率因数COSφ0.9
输出电压max2500V
输出电流max3000mA
输出频率KHZ20-40KHZ 选配
占空比调节%10-90%
残余电弧能量ARc<1 mJ/ kW
通讯接口Modbus模拟量ProfiBus
尺寸mm 19寸机箱5U 220 H X 480 W X 560 D
重量45Kg



 湘公网安备 43012402000517号 

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