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ZY-Pulse双极直流脉冲溅射电源

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ZY-Pulse双极直流脉冲溅射电源

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技术特点:

※ 适用于金属合金石墨硅铝等靶材
※ 镀制金属膜碳膜和部分氧化物氮化物碳化物膜层


技术参数:


项目参数
电源功率5-20KW
输入电压380-410Vac 3P+PE
输入频率50-60HZ
工作模式恒功率/恒流/恒压
输出电压max800V
输出电流max10-50A
输出频率10-100KHZ
间歇时间1-10Hs
输出模式脉冲/直流
抑弧方式主动
残余电弧能量ARc<0.3mJ/kW
通讯接口Modbus AE模拟量 ProfiBus
尺寸mm 19寸机箱5U 220 HX480 W X560 D
冷却方式强迫风冷
重量46Kg


 湘公网安备 43012402000517号 

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