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双脉冲偏压电源

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ZY-Bias 双脉冲偏压电源

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尺寸:

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技术特点:

※ 高精度恒压输出,微米级电弧检测时间,双极输出主动灭弧

※ 主要作用基片表面辉光放电清洗、镀膜前离子轰击和沉积时离子加速

技术参数:

项目参数
电源功率18KW
输入电压380-410Vac 3P+PE
输入频率47-64HZ
工作模式恒压
输出电压max1000V
输出电流max15-60A
输出频率弧检测时间10-100KHZ
脉冲间歇时间1-10μs
输出模式正负脉冲/直流
反向脉冲负脉冲15%
抑弧方式主动
弧检测时间<2μs
残余电弧能量Arc<0.3mJ/kW
通讯接口Modbus模拟量ProfiBus
尺寸mm 19寸机箱7U311HX480WX600D
冷却方式强迫风冷
重量70Kg

应用于工具镀、多弧、磁控,离子体增强及化学气相沉积。

主要作用被镀工件表面的辉光清洗、镀膜前的离子轰击和沉积时的离子加速

1:主回路拓扑采用PFC+全桥构架  结合ARM+DSP数字控制技术  

2:频率10-100KHZ 正负脉冲输出  

3:内置灭弧时间设置10us-100us适应不同的工艺及靶材 打弧显示计数

4:同时检测 V-ARC & I-ARC 快速切断输出  同时启动内置专利技术消除残余电弧能量,避免基片放电打弧,确保高精膜层 ,提高镀件的成品率,表面光洁度和膜层结合力

6:合理调节频率  间隙时间(1-10us),可改善和控制成膜速度和温度,增加膜层结合力 致密性 提高沉积率

7:脉冲/直流 任意切换  满足不同的工艺及基片材料要求

8:输出电压0-1100V 无需换挡 辉光清洗和离子轰击   无缝对接到   沉积时的离子加速

9:操作可面板控制  远程PLC 控制模拟量   PROFIBUS 通讯


 湘公网安备 43012402000517号 

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