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ZY-Bias 双脉冲偏压电源

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ZY-Bias 双脉冲偏压电源

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尺寸:

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技术特点:

※ 高精度恒压输出,微米级电弧检测时间,双极输出主动灭弧

※ 主要作用基片表面辉光放电清洗、镀膜前离子轰击和沉积时离子加速

技术参数:

项目参数
电源功率18KW
输入电压380-410Vac 3P+PE
输入频率47-64HZ
工作模式恒压
输出电压max1000V
输出电流max15-60A
输出频率弧检测时间10-100KHZ
脉冲间歇时间1-10μs
输出模式正负脉冲/直流
反向脉冲负脉冲15%
抑弧方式主动
弧检测时间<2μs
残余电弧能量Arc<0.3mJ/kW
通讯接口Modbus模拟量ProfiBus
尺寸mm 19寸机箱7U311HX480WX600D
冷却方式强迫风冷
重量70Kg


 湘公网安备 43012402000517号 

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