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单极脉冲偏压电源

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应用于多弧,磁控 离子体增强及化学气相沉积

主要作用被镀工件表面的辉光清洗、镀膜前的离子轰击和沉积时的离子加速

特点:

1:采用PWM调制技术,恒定电压输出,内置高速灭弧电路,有效抑制工件表面打火

提高镀件的成品率、表面光洁度和膜层结合力。

2:合理调节占空比   可改善和控制成膜速度和温度,增加膜层结合力  提高沉积率

3:分高压档/低压档   高压档适用于辉光清洗和离子轰击,低压档适用于沉积时的离子加速

4:固定频率40kHz   占空比20%~80%,满足不同工艺的,需求

5:操作可面板控制  远程PLC 控制 模拟量   PROFIBUS 通讯

 湘公网安备 43012402000517号 

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