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单极脉冲直流溅射电源

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ZY-SSP单极脉冲磁控溅射电源

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产品用途


※ 应用于多弧,磁控离子体增强及镀膜辅助沉积
※ 主要作用被镀工件表面的辉光清洗、镀膜前的离子轰击和沉积时离子加速


产品参数:

项目参数
电源功率10-40KW
输入电压&频率380-410Vac 3P+PE
输入频率50-60HZ
工作模式恒功率/恒流/恒压
输出电压max1200V
输出电流max25-100A
输出模式脉冲/直流
输出频率KHZ20-80KHZ±0.01%
占空比调节%10-90%
残余电弧能量ARc<0.5mJ/kW
通讯接口Modbus 模拟量ProfiBus
冷却方式铜板水冷系统
冷却水温度℃+25 to +35
尺寸mm 19寸机箱5U 220HX480WX560D
重量55-79Kg




1:主回路拓扑采用PFC+全桥构架  结合ARM+DSP数字控制技术  

2:内置灭弧时间设置10us-100us 适应不同的工艺及靶材 打弧显示计数

3: 输出频率10-120KHZ  脉冲间隔时间 1-10us

4: 恒功率  恒电流 恒电压 满足任意工艺要求

5:明显改善靶面电荷积累现象,减小溅射表面打火次数,提高膜层质量。

6:脉冲 &直流 两个模式输出,满足不同工艺要求

7:操作可面板控制  远程PLC 控制模拟量   PROFIBUS 通讯

 湘公网安备 43012402000517号 

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