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真空PVD磁控溅射镀膜电源

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ZY-DC 直流磁控溅射电源


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尺寸:

DC (3).jpg

技术特点:


※ 适用于镀制各种纯金属材料
※ 具有很高的功率密度
※ 输出精度高,工艺重复性好
※ 智能电弧管理系统提高了抑制打弧及重启速度
※ 恒流/恒功率模式切换,恒功率模式更能保证镀膜工艺的重复性


技术参数:

项目参数
输入电压380-410 Vac   3P+PE
输入频率50-60HZ
工作模式恒功率/恒流
输出电压max1200V
输出电流max10-200A
GENCOA Speedflo 接口支持
残余电弧能量ARc<0.5mJ/kW
通讯接口Modbus模拟量ProfiBus
尺寸mm 19寸机箱7U 311H×480WX628D
冷却方式铜板水冷系统
冷却水温度℃+25 to +35
重量79Kg-100Kg



 湘公网安备 43012402000517号 

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